HR30-IIA2
性能參數
大氣壓 | 70~106KPa |
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工作台麵中心振動靜位移µm(rms) | 0.6 |
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主過濾器類別 | ULPA |
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人員保護 | 6.89*100000 |
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主過濾器效率 | 99.9995%@0.12μm |
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下降氣流速度(m/s) | 0.30 |
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流入氣流速度(m/s) | 0.58 |
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外排風量(m³/h) | 360 |
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規格
工作室內表麵材質 | SUS304 |
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重量(Kg) | 180 |
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腳輪 | 有 |
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櫃內插座配置(防濺插座個數) | 1個 |
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固定底腳 | 可調高度75mm
,無裸露螺紋 |
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功能參數
過濾器阻塞報警 | 有 |
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過濾器破損報警 | 有 |
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前窗玻璃防紫外線 | 有 |
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