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大型等離子清洗機
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大型等離子清洗機
1
大型等離子清洗機
產品詳細
V1000/1000X1000XS
大型等離子清洗機特點 :
能有針對性的製作一些特殊電極 ,提高生產效率 。
高可靠性RF電源 ,高精度調諧裝置 。
大型等離子清洗機用途:
矽晶圓的灰化及蝕刻IC封裝 、BGA/CSP基板處理電子半導體零部件和電子材料的幹式清洗物體表麵氧化物和有機物的除去鍍膜 、烤漆前的清洗 ,增強膜層的附著力
大型等離子清洗機規格 :
型號
V1000
V1000X
V1000XS
等離子模式
DP/RIE
DP/RIE
振動頻率
13.56MHz
反應氣體
聚合控製器2係統(充填氣路另行安裝)
安全裝置
門開關 、側板互鎖機構 、緊急停止開關
輸出功率
1000W
1000W
1500W
有效尺寸(W×D)
280×280mm
300×300mm
400×375mm
油回旋真空泵
670&1000L/min
670&1500L/min
1000&1500L/min
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