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等離子清洗機
等離子清洗機
PR300/301
等離子灰化機性能特點
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等離子灰化機:大口徑石英工作倉配備,小型一體化設計,操作簡單的觸摸屏控製麵板
等離子灰化機性能用途
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矽晶圓表麵光刻膠殘留物的灰化
零部件清洗
界麵活性處理
微量研磨
基板的表麵處理
等離子灰化機性能規格 ：
矽晶圓表麵光刻膠殘留物的灰化
零部件清洗
界麵活性處理
微量研磨
基板的表麵處理
等離子灰化機性能規格 ：
| 型號 | PR300 | PR301 | PR500/PR510 | |
| 同調方式 | 手動2軸同調方式 | 自動調諧 | ||
| 反應槽 | 3室超硬質玻璃φ64×160mm×3 | 1室超硬質玻φ118×160mm | 石英製φ215×305mm | |
| 加熱器 | 不鏽鋼線圈加熱器 | 手動/觸摸屏聯動控製 | ||
| 配管材質 | SUS不鏽鋼 、特佛倫 、銅 、銅合金 | SUS不鏽鋼 、特佛倫 | ||
| 方式 | DP方式 | |||
| 頻率 | 13.56MHz | |||
| 反應氣體 | 1係統 | 2係統 | ||
| 外形尺寸 (W*D*Hmm) | 438×520×556mm | 438×520×656mm | 438×520×760mm | |
| 輸出功率 | Max.300W | Max.500W | ||
| 價格 ： | 請問詢 | |||
